SEMIとは、Semiconductor（半導体）、Equipment（装置）、Material（材料)、International（国際)の略称で、半導体をはじめとするマイクロエレクトロニクス製造装置・材料の国際工業会のことです。
半導体部門や関連産業における企業と組織からなる会員が、世界中の半導体やFPD製造装置の材料や生産手段の最適かつ安定した品質を保証するための業界自主基準「SEMIスタンダード」を管理しています。
SEMIスタンダードは、半導体製造装置の設計についての安全ガイドラインです。材料、ハードウエア・ソフトウエア、設備、ガス、プロセスケミカル、環境、健康＆安全(EHS)など多岐にわたり、それぞれの「仕様、ガイド、試験方法、用語、実施方法」を記載しています。
装置を半導体製造工場へ納入する際、SEMIスタンダードに従って製作されているか安全調査報告書を提出するよう要請される場合があります。そこで、装置の安全性についてSEMI S2およびSEMI S8をベースとし、調査を実施します。
| SEMI S2 | 半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生および安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、排気、人間工学、さらに品質、文書、マニュアルなどにおよんでいます。 |
|---|---|
| SEMI S8 | SEMI S2の14項の人間工学に関する要求に加え、さらにくわしい人間工学に関する指針を示しています。 |
| S1 | 視覚警報標識に関する安全ガイドライン |
|---|---|
| S9 | 半導体製造装置の電気設計検証試験の安全ガイドライン |
| S10 | リスクアセスメントおよびリスク評価のための安全ガイドライン |
| S13 | 半導体製造装置の操作および保守マニュアルの安全ガイドライン |
| S14 | 半導体製造装置の火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン |
| S22 | 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン |
| F42 | 半導体プロセス試験装置の電圧サグに対する感受率の試験方法 |
| F47 | 半導体プロセス試験装置電圧サグイミュニティのための仕様 |
| E33 | 半導体製造設備の電磁適合性のための仕様 |
テクノロジー・インターナショナル・ジャパン（TIJ）はSEMIの加盟会員として、1990年代から半導体産業で活動しています。機械や電気の安全に関する専門知識と規制遵守をもってSEMI安全ガイドラインに対して独自の査定をご提案します。
テクノロジー・インターナショナル（TI）はSEMIスタンダードS7で規定された認証権限を持つ公認機関として、広範な経験を持つ優秀なスタッフが皆様の要求に対処します。SEMI査定なら弊社までお任せください。
SEMIの査定はCE・UKCA認証のための評価・試験と類似性があるので、これら2つの査定を同時に行うと経済的・納期的に非常に有効です。 テクノロジー・インターナショナル・ジャパン（TIJ）はSEMIの安全ガイドラインにもヨーロッパのCE関連規格にも精通した優秀なエンジニアを取りそろえておりますので、このようなお客様のご要望に応じることができます。
